ここでは様々な表面分析装置を用いて表面特有の原子配列、化学結合エネルギー等の解析を行っています。試料表面の汚染・破壊を防ぐためにいずれの分析も4×10-10〜2×10-11 Torrの超高真空内にて行います（1 atm = 1 気圧 = 760 Torr）。
分析手法に関しては主に以下の7つの手法を用いています。
走査トンネル顕微鏡（STM）
　表面の原子配列の観察
走査トンネル分光（STS）
　局所電子状態の測定
低速電子回折（LEED）
　周期配列の観察
オージェ電子分光（AES）
　表面組成の測定
X線光電子分光（XPS）
　化学結合エネルギーの測定
走査電子顕微鏡（SEM）
　試料観察
ラザフォード後方散乱分光（RBS） （バンデグラフ加速器施設は廃止となりました）
  異種原子の被覆率の校正

超高真空チャンバー1号機
試料表面の清浄化、異種原子の蒸着及び酸化等を行った後、STM・LEED・AES・XPSといった手法を用いて分析を行っています。STMは振動に非常に弱いため、観察の際にチャンバーの台を浮かせることで床の振動の影響を最小限に抑えています。		 超高真空チャンバー2号機
試料表面の清浄化、異種原子の蒸着及び酸化等を行った後、STM・STS・LEED・AES・SEMといった手法を用いて分析を行っています。こちらはSTM観察の際に台を浮かせることによる空気ばねの除振に加えてフィードバック制御、フィードフォワード制御といった機能を使いより除振性能を高めています。		 SEM
こちらのSEMも台を浮かせて観察しています。試料ホルダーで試料を固定しているためチャンバー2号機のSEMよりも高分解能なSEM像の観察が可能です。作製したSTM用の探針の形状をミクロンオーダーで観察することでより理想的な探針の形状を模索しています。


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